대구과학대학교 전자책도서관

책소개

박막에서의 두께 분석과 OCD(Optical critical dimension) 분석을 수행하는데 기본 원리가 되는 RCWA (Rigorous Coupled-Wave Analysis) 에 대해 소개한 책. 커피 한 잔 사먹을 돈인 오천원만 이 책에 투자하면, 당신도 기본적인 광학 지식으로 박막의 두께와 패턴을 분석하는 원리를 이해할 수 있다.

저자소개

인하대 학부 화공과, 대학원 물리학과 졸업.
약간의 포닥 경험.
좌우명: 인생 대충 살자.

차례
1 시작하는 말
2 빛의 속력의 측정
2.1 뢰머
2.2 피조의 측정
3 기하 광학
3.1 반사, 굴절
3.2 페르마의 원리
3.3 렌즈
3.4 흡광도
4 파동 광학
4.1 멕스웰 방정식
4.2 조화파
4.3 편광
4.4 굴절과 반사
4.5 얇은 층에서의 굴절과 반사
4.6 여러 층에서의 굴절과 반사
5 물질의 광학적 특성
5.1 유전체
5.2 금속
5.3 복잡한 유전 상수의 경우
6 편광
6.1 존스 벡터 (Jones vector)
6.2 스톡스 벡터 (Stokes vector)
6.3 뮐러 행렬 (Mueller matrix)
7 얇은 층의 요철 (격자 패턴)
7.1 기본 관점과 이론적 도구들
7.2 평면 격자 에돌이 (Planar grating diffraction)
7.3 여러 가지 패턴의 모양
8 끝맺는 말

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목차